進口氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的儀器，主要由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。

　　

　　靈敏度、反應(yīng)時間、清除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜儀器的主要性能指標(biāo)。下面我們就來一一講解一下：

　　

　　一、靈敏度及其校準(zhǔn)

　　

　　靈敏度，通常指儀器的小可檢漏率。即在儀器處于正常工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的小漏孔漏率。

　　

　　1、所謂“動態(tài)檢漏”是指進口氦質(zhì)譜檢漏儀本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。

　　

　　2、所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動量。

　　

　　3、如果檢漏時用輔助系統(tǒng)抽氣(即對示漏氦氣有分流)。或用累積法檢漏時，給出儀器的可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用一流量計測出通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則進口氦質(zhì)譜檢漏儀的濃度靈敏度。

　　

　　二、反應(yīng)時間、清除時間及其測定

　　

　　反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥*開啟，當(dāng)信號為零(或補償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。清除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到大值后，停止送氦，其訊號下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。

　　

　　三、工作真空、極限真空及入口處抽速

　　

　　質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用進口氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。